SEEDA-ALH
| -TYPE OF STRIPPING LIQUID- | |
|---|---|
| Organic type stripping liquid | MEA 70% DMSO 30% H2O 0% |
| Water type organic stripping liquid | MEA 20% DMSO 30% H2O 50% |
| GE type stripping liquid | GE type stripping liquid 30% GE 70% |
| -EQUIPMENT DETAILS- | |
|---|---|
| 検出器 | 可視分光検出器 特殊検出器 |
| 装置型式 | SEEDA-STR |
| 測定成分名 | 溶解レジスト濃度 水分 |
| 測定スパン | 溶解レジスト濃度 0.000〜2.000Abs 水分濃度 0.0〜50.0％ |
| 測定精度 | 溶解レジスト濃度 測定値±0.001Abs 水分濃度 測定値±0.40％以下 |
| 補給制御薬液 | 剥離液の新液 |
| 外形寸法 | 400W×530D×1500H |
| 重量 | 100kg |
上記以外の測定範囲につきましては、ご相談ください。
